高頻超聲波清洗機(jī)
HI MEGASONIC（生產(chǎn)終止）
７５０ｋＨｚ／９５０ｋＨｚ
硅 晶圓、ＧａＡｓ等的清洗 液晶玻璃的清洗 鏡面的清洗
硬盤的清洗 水晶振子的清洗 薄膜磁性頭的清洗
脆性材料等的清洗 其他的超精密清洗
◆根據(jù)半導(dǎo)體及液晶行業(yè)的要求可去除４５ｎｍ以下超微顆�！�
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■發(fā)生器特征
●搭配ＣＰＵ
內(nèi)置CPU，可與主計算機(jī)相通信（ＲＳ４８５、Ｄ－ＮＥＴ）、輸出功率集中控制、反饋其工作狀態(tài)（自我診斷功能）。
●數(shù)字顯示功率輸出
�。匙侄蔚臄�(shù)字顯示、高精度管理通常作業(yè)狀況。
●上下限判定功能
發(fā)振狀態(tài)顯示實行上下限異常顯示功能、其觸點功率顯示。
●ＰＬＬ頻率自動跟蹤
KAIJO獨(dú)創(chuàng)的PLL方式,即使水的種類、水深、水溫（最高７０℃）等發(fā)生變化，發(fā)振方式也會自動調(diào)整到合適的頻率位置。
●高效率發(fā)振
由ＰＯＷＥＲ�。停希印。疲牛钥蛇M(jìn)行高效率發(fā)振。
●無損傷
功率可控制，適合２００／３００ｍｍ晶圓的清洗。
■發(fā)生器說明書
| 項目 | 仕樣 | ||
|---|---|---|---|
| 型號 | 68101 | 78101 | 78102 |
| 實際功率 | ６００Ｗ | ９００Ｗ | ９００Ｗ |
| 動作頻率 | ９５０ｋＨｚ | ９５０ｋＨｚ | ７５０ｋＨｚ |
| 発振方式 | ＶＣＯ | ||
| 頻率調(diào)整 | 自動追蹤ＰＬＬ方式 | ||
| 顯示 | ７字段�。澄粩�(shù)�。蹋牛� | ||
| 遠(yuǎn)程控制機(jī)構(gòu) | 有 | ||
| 使用溫度 | ０～４０℃ | ||
| 使用溫度 | ０～８０％（無結(jié)霧環(huán)境） | ||
| 電源 | ＡＣ２００Ｖ�。叮� | ＡＣ２００Ｖ�。梗担� | ＡＣ２００Ｖ�。梗担� |
| 外形尺寸 （ＷｘＤｘＨmm） |
３２０ｘ５２０ｘ１４４ | ４６０×５００×１４３ | ４６０×５００×１４３ |
| 重量 | 約１７㎏ | 約２５㎏ | |
| 仕樣 | 晶圓6 振板仕樣 |
晶圓8 振板仕樣 |
晶圓12 振板仕樣 |
|---|---|---|---|
| 型號 | 7857S型 | 8857S型 | 98SL型 |
| 額定功率 | 300Wx4 | 300Wx6 | 300Wx16 |
| 頻率 | 950kHz | 950kHz | 750kHz |
| 振動輻射面(mm) | 136x163 | 165x215 | 275x319 |
| 振板材質(zhì) | SU316L | SU316L | SU316L |
| 振動體 | PZT | PZT | PZT |
| 最高使用溫度 | 70℃ | 70℃ | 70℃ |
| 外形尺寸 (WxDxHmm) |
185x215x55 | 255x305x55 | 410x340x65 |
| 安裝方法 | 螺栓固定 | 螺栓固定 | 螺栓固定 |
■振板特征
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●振動單元為大型Ｐ．Ｚ．Ｔ振動成分、清洗均勻。
●功率密度高、清洗能力卓越。（最大約５．４Ｗ／㎝２)
●板厚適中、使用壽命強(qiáng)、清洗穩(wěn)定。
●音響無損失。
●單元連接縫隙微小、可達(dá)到最佳清洗效果。
●材質(zhì)為ＳＵ３０４，３１６，３１６Ｌ ３種類型。
■清洗槽特征
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●石英槽里放置直接振子連接的石英超聲波槽，相比舊型的二重槽式有強(qiáng)力的超聲波照射（本社比１．２倍以上）。此技術(shù)為kaijo獨(dú)有技術(shù)。
●根據(jù)使用水溫分為常溫（５０℃�。停幔�、高溫（８０℃�。停幔�2種類型。
●可制作不銹鋼槽。
